無接触ピックアップ装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-136556
公開番号（公開出願番号）：特開平6-321351
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】ケースにチップを収納あるいは取り出す場合に、チップを無接触状態にて懸垂保持可能な無接触ピックアップ装置を用いることにより、チップを汚したり損傷することを防ぐ。【構成】気体を噴出することによりチップ9を空中に浮遊した無接触状態にて懸垂保持する無接触保持具Aに上下移動可能なガイド7を装着して構成される。

請求項（抜粋）：

気体を噴出することにより空中に浮遊した無接触状態にてチップを懸垂保持する無接触保持具に、移動可能なガイドを装着したことを特徴とする無接触ピックアップ装置。

IPC (6件)：

B65G 49/07 , B25B 11/00 , B25J 15/06 , H01L 21/52 , H01L 21/68 , B65H 3/14

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