特許

J-GLOBAL ID：200903072790134377

荷電粒子ビーム装置

発明者： 梅村 馨
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-015699
公開番号（公開出願番号）：特開平8-212950
出願日： 1995年02月02日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 荷電粒子源から放出した荷電粒子ビームの、荷電粒子ビーム光学中心への軸合わせが迅速に行なえる荷電粒子ビーム装置を提供する。【構成】 荷電粒子ビームのクロスオーバ地点にアパチャ7,13を有する荷電粒子ビーム装置1において、アパチャ直下に可動式の電流検出器18,18′を配置する。【効果】 荷電粒子源から放出した荷電粒子ビームを、荷電粒子ビーム光学中心への軸合わせが迅速に行なえる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームのクロスオーバ地点にアパチャを有する荷電粒子ビーム装置において、上記アパチャ直下に可動式の電流検出器を配したことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。

IPC (6件)：

H01J 37/04 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H01L 21/265 D ,  H01L 21/30 541 E ,  H01L 21/302 D