特許

J-GLOBAL ID：200903072791209079

超高純度窒素を製造するための方法と装置

発明者： シドニー・エス・スターン
出願人/特許権者： ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-162936
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187765
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】 本発明は超高純度窒素を製造するための装置と方法を提供する。【構成】 本発明の方法と装置によれば,空気を精留して軽質成分(例えばネオン,ヘリウム,及び水素等)含量の多い高純度窒素を含んだ塔頂留出物を生成させる。次いでこの塔頂留出物を凝縮器中である程度凝縮させ,相分離器中で液相と蒸気相に分離する。液相は軽質成分含量が少なく,また蒸気相は軽質成分含量が多い。相分離器の底部から液相が抜き取られ,精留塔に還流物として導入される。この還流物がトレーを次々に降下していくにつれて,軽質成分がストリッピングされる。還流物を適切にストリッピングした後に,超高純度窒素を含有した生成物流れが塔から液体として抜き取られる。この生成物流れは,ストリッパー塔内にてストリッピングすることによってさらに精製することができる。

請求項（抜粋）：

(a) 精留塔内にて低温精留法により空気を精留して,高純度窒素蒸気を含有した軽質成分含量の多い塔頂留出物を得る工程;(b) 塔頂留出物の流れが軽質成分含量の少ない液相と軽質成分含量の多い気相を含有するよう,前記塔頂留出物の流れをある程度凝縮させる工程;(c) 前記気相を前記塔頂留出物の流れから分離する工程;(d) 気相を分離した後,塔頂留出物の流れを還流物として前記精留塔に戻し,精留塔内にて前記軽質成分を前記還流物からストリッピングして超高純度窒素を液体として得る工程;及び(e) 液状超高純度窒素を含んだ生成物流れを前記精留塔から抜き取る工程;を含む,超高純度窒素の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-116887