特許

J-GLOBAL ID：200903072794094027

加速度センサ

発明者： 長原 輝明
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-049049
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235485
出願日： 2000年02月25日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 加速度検出チップと信号処理チップとを備える加速度センサにおいて、両チップの配置を改善して加速度センサの小型化を図る。【解決手段】 加速度検出チップACaを、信号処理チップSCaに設けられた貫通孔HL1の内部に配置する。また、キャップCPaを設けて樹脂封入パッケージを形成する際に加速度検出部ASに樹脂が流入しないようにする。

請求項（抜粋）：

加速度に応じて変位する可動部を含む加速度検出部を有し、前記可動部の変位に応じた電気信号を出力する加速度検出チップと、貫通孔を有し、前記加速度検出チップの出力する前記電気信号を処理する回路が形成された信号処理チップと、前記加速度検出チップおよび前記信号処理チップが接着されたダイパッドとを備え、前記ダイパッド上において前記加速度検出チップは前記信号処理チップの有する前記貫通孔内に配置された加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/08 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/08 P

Fターム (8件)：

4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA23 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA14 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03