特許

J-GLOBAL ID：200903072798155241

第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物溶液の製造方法

発明者： 原 靖 ,  青木 雅裕 ,  林 博明
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-341935
公開番号（公開出願番号）：特開2003-146946
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 チタン酸化物の還元に有用な、第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物溶液の製造方法を提供する。【解決手段】 第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物溶液に、亜硝酸、亜硫酸、硫酸、過硫酸、亜リン酸、次亜リン酸、過ホウ酸などの無機酸、過安息香酸、過酢酸などの有機過酸、及びアスコルビン酸、シュウ酸、クエン酸などの有機酸からなる群より選ばれる酸化還元性のある酸及び/又はその塩を1種以上添加する。

請求項（抜粋）：

第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物溶液に、酸化還元性のある酸及び/又はその塩を添加することを特徴とする第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物溶液の製造方法。

IPC (4件)：

C07C209/68 ,  C07C211/63 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C07C209/68 ,  C07C211/63 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B

Fターム (11件)：

2H096AA25 ,  2H096LA02 ,  4H006AA02 ,  4H006AA05 ,  4H006BB31 ,  4H006BE01 ,  4H006BE02 ,  4H006BE03 ,  4H006BE04 ,  4H006BE32 ,  5F046MA02