特許
J-GLOBAL ID：200903072798531871
TEM観察用試料の作成方法及び研磨用治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134298
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302876
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 各種の試料について汎用でき、観察時のTILT角のマージンがとれ、新たな特に高価な装置を導入する必要なく試料作成できるTEM観察用試料の作成方法及びこれに用いることができる研磨治具を提供すること。【構成】 ?@試料1の一方の側1aを研磨し、観察目標近傍で研磨を止め、試料の他方の側1bを研磨することにより、下方が広がる台状に観察目標2を残した薄片10とし、更にFIBにより、極薄片11にするTEM観察用試料の作成方法。?A試料の一方の側を研磨し、観察目標近傍で研磨を止め、試料の該研磨された側を保持台に載置し、この保持台の研磨ストッパプレートに合わせて他方の側を研磨し、ストッパプレートの厚さに相当する厚さまで研磨して観察目標を残した薄片とし、更にFIBにより極薄片にするTEM観察用試料の作成方法。?B上記?Aに使用できる研磨治具。
請求項（抜粋）：
TEM観察用試料の作成方法であって、試料の一方の側を研磨し、観察目標近傍で研磨を止め、次いで試料の他方の側を研磨することにより、観察目標を残した薄片とするとともに、この薄片を、下方が広がる台状に形成し、更にFIBにより、上記観察目標のある部分を極薄片にするTEM観察用試料の作成方法。
IPC (3件)：
G01N 1/32
, G01N 1/28
, H01J 37/20
