特許
J-GLOBAL ID:200903072803498292
非蒸発型ゲッター
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-034218
公開番号(公開出願番号):特開平8-196899
出願日: 1995年01月30日
公開日(公表日): 1996年08月06日
要約:
【要約】【目的】ゲッターの活性化温度を低くすることができ、活性化工程におけるエネルギー損失を低減でき、しかも真空層構成材の特性劣化が生じ難い非蒸発型ゲッターを提供する。【構成】チタン粉末(Ti)に、酸化チタン粉末(TiO2)、過酸化バリウム粉末(BaO2)のような酸化反応剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が発生する適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペレット化する。各粉末の混合比率(重量比率)をTi:TiO2:BaO2=100:2:5.5とする。銀粉末(Ag)のような熱良導体粉末をチタン粉末(Ti)に対して3〜5%(重量%)混入する。
請求項(抜粋):
チタン粉末(Ti)に、酸化チタン粉末(TiO2)、過酸化バリウム粉末(BaO2)のような酸化反応剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が発生する適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペレット化したことを特徴とする非蒸発型ゲッター。
IPC (2件):
B01J 20/02
, A47J 41/02 102
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