特許
J-GLOBAL ID：200903072805734910
光学式変位センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-035471
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231848
出願日： 1992年02月24日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、光学式変位センサに関し、測定面が入射光の光軸に対して傾斜しても、測定面の変位量を高精度に検出可能であって、表面形状や表面粗さを正確に測定することができると共に、変位センサヘッドの小型化を可能なようにすることを目的とする。【構成】 光源21から発した光束をビームスプリッタ22および対物レンズ23を経て、測定面24に微小スポットとして収束させる。測定面24で反射された光束は、対物レンズ23で集光後ビームスプリッタ22で反射されて、円柱レンズ25により非点収差が与えられた後、光軸移動手段26でビームスポットの光軸が4分割受光素子27の中心に投影されるように制御される。これにより、測定面24の正確な変位量が常に高精度に検出され、測定面24の表面形状や表面粗さが正確に測定できるるように構成される。
請求項（抜粋）：
光源と、該光源から発した光束を測定面上に微小スポットとして投射させる対物レンズと、該測定面で反射された反射光束に非点収差を与える非点収差素子と、該非点収差が与えられた反射光束を入射させて、受光パターンに応じた出力変化が得られるように受光面を複数に分割した受光面分割素子とを有し、該受光面分割素子の各素子の出力データに基づいて測定面の変位を検出する光学式変位センサにおいて、前記受光面分割素子が対角方向にそれぞれ受光面が配置された少なくとも4分割された受光素子であって、該受光面分割素子に入射する光軸または受光面分割素子を光軸に対して垂直方向に相対的に移動させる光軸移動手段を備えたことを特徴とする光学式変位センサ。
IPC (2件)：
G01B 11/30 102
, G01B 21/00
