特許

J-GLOBAL ID：200903072817711959

表面伝導型電子放出素子、それを用いた電子源、画像形成装置及びこれらの製造方法

発明者： 塚本 健夫 ,  山本 敬介 ,  浜元 康弘 ,  山野辺 正人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-226113
公開番号（公開出願番号）：特開平8-069747
出願日： 1994年08月29日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】 表面伝導型電子放出素子の製造に際し、フォーミングを短時間で均一かつ発熱少なく行えるようにする。【構成】 電荷蓄積体に蓄積した電荷の放電によってフォーミングを行う。

請求項（抜粋）：

基板上に素子電極を形成すると共に、素子電極間を連絡する導電性薄膜を形成する工程と、素子電極と、誘電体と、この誘電体を挟んで素子電極と対向する位置に設けられた導伝体とからなる電荷蓄積体の放電によって導電性薄膜に電子放出部を形成するフォーミング工程とを有することを特徴とする表面伝導型電子放出素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12 ,  H01J 31/15

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-028139
  
• 電子源の製造方法及び、該製造方法にて製造された電子源並びに該電子源を用いた画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-055493   出願人：キヤノン株式会社