特許
J-GLOBAL ID：200903072822214106
光結合素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270837
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097420
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 発光素子をシリコンで作製した光結合素子を提供する。【構成】 光結合素子は、発光素子と受光素子とをモノリシックに基板上に形成し、光を伝送する光導波路を備えるものである。発光素子は、p型単結晶シリコン基板12の表面に陽極化成法により多孔質シリコン層14を形成し、更にその上に電子サイクロトロン共鳴プラズマCVD法によりn型の微結晶を含有する非晶質シリコンカーボン層16aを堆積させて形成される。受光素子は、p型単結晶シリコン基板12の表面にn型の微結晶を含有する非晶質シリコンカーボン層16bを同様の方法で堆積させて形成される。光導波路は、スパッタ成膜法によりバリウムホウケイ酸ガラス24を発光素子と受光素子との間に堆積させて形成される。
請求項（抜粋）：
p型半導体とn型半導体とで多孔質シリコンを挟んだ構成とした発光素子と、受光素子と、前記発光素子が送信した光情報を前記受光素子に伝送する光伝送手段とをモノリシックに基板上に形成したことを特徴とする光結合素子。
IPC (2件)：
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