特許
J-GLOBAL ID：200903072826442022
導電性有機材料配向膜の製造方法及び導電性有機材料配向膜を用いた有機電子素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-241078
公開番号（公開出願番号）：特開平7-206599
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】 導電性有機化合物の配向性を高め、導電性有機化合物配向膜を用いることによりキャリヤー移動度が大きくFET素子としての特性に優れた有機電子素子を得る。【構成】 シリコン基板11上に形成したゲート絶縁層12の上にポリテトラフルオロエチレンロッド13を1kg/cm2圧で一定方向に1mm/secの速度でスライドさせることによりPTFE配向膜14を形成する。その上にソース及びドレイン電極15として用いる櫛型電極形成のためのマスクをつけながら1×10-5Torrの真空下でクロム及び金を蒸着する。電極15の一部をアルミホイルで覆いながら有機半導体層である5,5’’’’’-ジメチルセクシチオフェン(DMSxT)を蒸着する。素子を形成していない側のシリコン基板を研磨することによりシリコン基板11自身をゲート電極とする。
請求項（抜粋）：
基板上に形成されたポリテトラフルオロエチレン配向膜の上に下記式(化1)で示されるオリゴチオフェン化合物を接触させることによりオリゴチオフェン化合物配向膜を形成する導電性有機材料配向膜の製造方法。【化1】
IPC (4件)：
C30B 29/54
, C08G 61/12 NLJ
, C23C 14/12
, H01L 51/00
