特許

J-GLOBAL ID：200903072829743520

シリコンウエハー製造工程における微粒混合液体の固液分離方法及び装置

発明者： 正木 一男 ,  本山 良也
出願人/特許権者： 石川島汎用機サービス株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058108
公開番号（公開出願番号）：特開平11-253838
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 シリコンウエハー製造装置から排出される微粒混合液体から、電気的エネルギーを使って微粒を効率良く分離し、再利用できるようにする。【解決手段】 シリコンウエハー製造工程からの微粒混合液体3’を受けるようにした容器20内において、所要の間隔をおいて配置した電極21,22間で高密度電場を形成することにより、微粒混合液体3’中の微粒32を電界密度の大きい電極22側に吸引させると共に、電界密度の大きい電極22の前面に沿って誘電体フィルム28を移動させることにより微粒32を誘電体フィルム28に付着させ、誘電体フィルム28を容器20外部に導出して誘電体フィルム28に付着した微粒32を除去する。

請求項（抜粋）：

シリコンウエハー製造工程からの微粒混合液体を受けるようにした容器内において、所要の間隔をおいて配置した電極間で高密度電場を形成することにより、微粒混合液体中の微粒を電界密度の大きい電極側に吸引させると共に、電界密度の大きい電極の前面に沿って誘電体フィルムを移動させることにより前記微粒を誘電体フィルムに付着させ、該誘電体フィルムを容器外部に導出して該誘電体フィルムに付着した微粒を除去することを特徴とするシリコンウエハー製造工程における微粒混合液体の固液分離方法。

IPC (2件)：

B03C 5/02 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B03C 5/02 ,  H01L 21/304 622 E