特許
J-GLOBAL ID：200903072833080586

磁気研磨装置および磁気研磨方法

発明者：
宮沢 信

宮沢 信 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-223480
公開番号（公開出願番号）：特開2000-052218
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：
【要約】【課題】従来技術を用いた磁気研磨装置および磁気研磨方法に比べ、ワークの材質を選ばずに研磨時間、外観品質、形状精度といった研磨性能を大幅に向上させることが可能な磁気研磨装置、および磁気研磨方法を提供できることにある。【解決手段】スラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒子との間隙に供給し、また磁性研磨材粒子として繊維を材料とする起毛により被覆された強磁性材粒子を用い、さらには加工点における法線が磁力線の方向とほぼ一致するように法線制御を行い、加工点近傍で測定された磁束密度が一定に保持される制御機能を付加することで高能率、高精度、さらには面粗度向上や高い外観品質を実現することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ヨーク、励磁コイル、電源、ワークと対面する磁極、強磁性材粒子より構成され、励磁コイルに電圧を印加しワークと対面する磁極間に磁界を発生させながら、ワークと磁極とを相対的に回転あるいは揺動させる磁気研磨装置において、Al2O3やCeO2等を砥材とするスラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒子との間隙に供給しながら磁気研磨を行うことを特徴とする磁気研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 13/00 ,  B24B 37/00
FI (2件)：
B24B 13/00 Z ,  B24B 37/00 D
Fターム (26件)：
3C049AA01 ,  3C049AA09 ,  3C049AA11 ,  3C049AB01 ,  3C049AC04 ,  3C049BB03 ,  3C049CA01 ,  3C049CA04 ,  3C049CA05 ,  3C049CA06 ,  3C049CA07 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03 ,  3C058AA01 ,  3C058AA09 ,  3C058AA11 ,  3C058AB01 ,  3C058AC04 ,  3C058BB03 ,  3C058CA01 ,  3C058CA04 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058CA07 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03
引用特許：
審査官引用 (3件)

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