特許
J-GLOBAL ID：200903072838565103

光画像計測装置及び光画像計測方法

発明者：
チャン キンプイ

チャン キンプイ について

, 
秋葉 正博

秋葉 正博 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-065822
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212467
出願日： 2007年03月14日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】干渉光の検出感度を向上させて、良好な精度の信号強度や位相情報を用いて被測定物体を計測できる光画像計測装置を提供する。【解決手段】光画像計測装置1は、光ビームを分割して信号光Sと参照光Rを生成する。波長板7は参照光Rの偏光特性を変換する。参照鏡9は参照光Rを反射する。参照鏡9は、参照光Rの光路方向に移動可能とされている。ハーフミラー6は、被測定物体Oを経由した信号光Sと参照鏡9を経由した参照光R(偏光特性が変換されている)とを重畳させて干渉光Lを生成する。偏光ビームスプリッタ11は、干渉光LをS偏光成分L1とP偏光成分L2に分ける。CCD21はS偏光成分L1を検出し、CCD22はP偏光成分L2を検出する。信号処理部20は、これらの検出結果に基づいて被測定物体Oの画像を形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光ビームを分割して信号光と参照光とを生成し、被測定物体を経由した前記信号光と参照物体を経由した前記参照光とを重畳させて干渉光を生成し、前記干渉光を検出して前記被測定物体の画像を形成する光画像計測装置であって、 前記生成された信号光又は参照光の偏光特性を変換する変換手段と、 前記変換された偏光特性を有する前記信号光及び前記参照光の一方と、他方とを重畳して得られる干渉光の各偏光成分を抽出する抽出手段と、 前記抽出された各偏光成分を検出する検出手段と、 を備え、前記検出された各偏光成分に基づいて前記被測定物体の画像を形成する、 ことを特徴とする光画像計測装置。
IPC (5件)：
G01N 21/17 ,  A61B 3/10 ,  A61B 3/12 ,  G01B 11/24 ,  G01B 9/02
FI (6件)：
G01N21/17 630 ,  A61B3/10 Z ,  A61B3/12 E ,  A61B3/10 R ,  G01B11/24 D ,  G01B9/02
Fターム (68件)：
2F064AA09 ,  2F064CC04 ,  2F064EE02 ,  2F064EE04 ,  2F064FF03 ,  2F064FF07 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG32 ,  2F064GG37 ,  2F064GG38 ,  2F064GG44 ,  2F064GG55 ,  2F064GG61 ,  2F064GG68 ,  2F064GG70 ,  2F064HH01 ,  2F064HH03 ,  2F064HH05 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA49 ,  2F065AA52 ,  2F065BB05 ,  2F065CC16 ,  2F065FF52 ,  2F065GG07 ,  2F065GG08 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL33 ,  2F065LL35 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065NN05 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR07 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG04 ,  2G059GG08 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059LL02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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