特許
J-GLOBAL ID：200903072841037290
2端子型非線形素子およびその製造方法、ならびに液晶表示パネル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-367780
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247754
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 容量が充分に小さく、電圧-電流特性の経時変化が小さいMIM型非線形素子およびこれを用いた高画質の液晶表示パネルを提供し、さらに、前記MIM型非線形素子の製造方法を提供する。【解決手段】 MIM型非線形素子は、基板30上に積層された、第1の導電膜22、絶縁膜24および第2の導電膜26を含む。絶縁膜は、その比誘電率が25.5以下、好ましくは24〜25.5である。そして、SIMSで得られる元素分析において、第1の導電膜と絶縁膜との境界領域における水素のスペクトルは、そのピーク強度より1桁小さい強度において、深さ方向の厚さが10nm以上である。MIM型非線形素子は、たとえば、以下の工程を含む製造方法によって製造される。(a)基板上に、第1の導電膜を形成する工程、(b)前記第1の導電膜を不活性ガス中において300°C以上の温度で熱処理する工程、(c)前記第1の導電膜を陽極酸化することにより、前記第1の導電膜の表面に絶縁膜を形成する工程、および(d)前記絶縁膜の表面に第2の導電膜を形成する工程。
請求項（抜粋）：
基板上に積層された、第1の導電膜、絶縁膜および第2の導電膜を含む2端子型非線形素子において、前記絶縁膜は、前記第1の導電膜を水溶液からなる化成液中で陽極酸化して得られ、その比誘電率が25.5以下であることを特徴とする2端子型非線形素子。
IPC (2件)：
H01L 49/02
, G02F 1/136 510
H01L 49/02
, G02F 1/136 510
