特許
J-GLOBAL ID:200903072852100059

無線周波数パワーSiC電界効果トランジスタの相互接続の方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 浅村 皓 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-576486
公開番号(公開出願番号):特表2002-527905
出願日: 1999年09月23日
公開日(公表日): 2002年08月27日
要約:
【要約】本発明は無線周波数パワーSiC電界効果トランジスタを相互接続する方法及び装置に関する。寄生ソースインピーダンスを改良するため、トランジスタの小型の利点を利用して、接続パッドをダイの両側に、ソース接続線(6)の大部分がゲート及びドレイン接続線(7、8)に垂直に延びるように配置される。多数の接続線をソース接続パッドに接続し、ソースインピーダンスを減少することができる。上記の配置から、線相互の垂直の配置によるソース/ゲート間及びソース/ドレイン間の相互インダクタンスの減少という利点がさらに得られる。
請求項(抜粋):
パッド上に接続線をもったダイを含む無線周波数パワー電界効果トランジスタを相互接続する方法であって、 前記ソース接続線の大部分が実質的にゲート及びドレイン接続線に垂直になるように、少なくとも1つの接続パッドを前記ダイの異なる側部に配置する工程、 を含むことを特徴とする前記相互接続する方法。
IPC (3件):
H01L 25/07 ,  H01L 25/18 ,  H01L 23/15
FI (2件):
H01L 25/04 C ,  H01L 23/14 C
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-109637
  • 特開平4-109637

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