特許

J-GLOBAL ID：200903072861114470

超高圧走査型トンネル顕微鏡装置

発明者： 甲斐 昌一 ,  瀧 正二
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-251056
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074633
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 少なくとも1000気圧以上の超高圧力のもとで走査しながらトンネル電流を計測し、原子・分子レベルの顕微鏡像を観測することができる超高圧走査型トンネル顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 細長い超高圧容器6と、前記高圧容器6の一端側に取り付けられる測定セル取り付け側高圧プラグ5と、前記高圧容器6の他端側に取り付けられる回転駆動側高圧プラグ8と、高圧容器6内に収納される測定セルSと、前記高圧容器6の外部に配置し前記測定セル取り付け側高圧プラグ5とシールドパイプ3を介して一体的に結合されている電流-電圧変換器収納箱2とを備え、前記測定セル取り付け側高圧プラグ5には、測定セルSが着脱自在に取り付けられるとともにオイル導入用の高圧パイプ1、及び測定・制御に必要な全ての電極11、12が取り付けられており、前記回転駆動側高圧プラグ8には測定セル内のマイクロメータ34へ回転力を伝達することができる回転力伝達機構Tが取り付けてあることを特徴とする超高圧走査型トンネル顕微鏡装置。

請求項（抜粋）：

細長い超高圧容器6と、前記高圧容器6の一端側に取り付けられる測定セル取り付け側高圧プラグ5と、前記高圧容器6の他端側に取り付けられる回転駆動側高圧プラグ8と、高圧容器6内に収納される測定セルSと、前記高圧容器6の外部に配置し前記測定セル取り付け側高圧プラグ5とシールドパイプ3を介して一体的に結合されている電流-電圧変換器収納箱2とを備え、前記測定セル取り付け側高圧プラグ5には、測定セルSが着脱自在に取り付けられるとともにオイル導入用の高圧パイプ1、及び測定・制御に必要な全ての電極11、12が取り付けられており、前記回転駆動側高圧プラグ8には測定セル内のマイクロメータ34へ回転力を伝達することができる回転力伝達機構Tが取り付けてあることを特徴とする超高圧走査型トンネル顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G01N 13/12 ,  G01B 7/34

FI (2件)：

G01N 13/12 A ,  G01B 7/34 Z

Fターム (9件)：

2F063AA43 ,  2F063EA16 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063PA03 ,  2F063PA10 ,  2F063ZA01 ,  2F063ZA02 ,  2F063ZA05