特許
J-GLOBAL ID：200903072861747073
ICハンドラ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-010794
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218583
出願日： 1994年02月02日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【構成】トレイガイド2に多段積みされたトレイ6の最上段の一枚を検出するセンサ7と最上段から二枚目のトレイの有無を検出するセンサ16を設置する。【効果】多段積みトレイ収納部からトレイを搬送する際に、複数枚のトレイの同時搬送と、トレイ収納時の異常収納を検出することができる。
請求項（抜粋）：
多段積みのトレイ収納部に積み重ねられたトレイの最上段トレイを検出するセンサと、最上段から二枚目のトレイを検出するセンサを設置して、トレイの複数枚の搬送を検出することを特徴とするICハンドラ。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, B25J 13/08
, B65D 85/86
, H01L 21/66
