特許
J-GLOBAL ID：200903072861774828
コロナバー,予備電離電極及びエキシマレーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-348596
公開番号（公開出願番号）：特開平11-168254
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 異常放電を防止し、コロナ放電を安定に行なって、ガスの予備電離を効果的に行なうことのできるエキシマレーザ用の予備電離電極を提供する。【解決手段】 コロナ放電を起こして、ガスに予備電離を起こさせるエキシマレーザ装置の予備電離電極9において、絶縁材料からなるコロナバー18と、そのコロナバー18内に配置された第1予備電離電極6と、前記コロナバー18の外側に配置された第2予備電離電極7とを備え、前記コロナバー18の少なくとも一方の端部をコロナバー18と同じ絶縁材料で封止することによって異常放電を効果的に防止するとともに、従来の異常放電防止用ブッシュ8の個数を減らし、エキシマレーザ装置の構造を簡単にしてコンパクトにしている。
請求項（抜粋）：
中空の絶縁材料のチューブで形成され、その内部に設けられる第1予備電離電極(6) と外周部に設けられる第2予備電離電極(7) との間に電圧を印加してコロナ放電を起こさせるコロナバー(18)において、前記チューブの一端を絶縁材料で封止したことを特徴とするコロナバー(18)。
IPC (3件)：
H01S 3/0977
, H01S 3/03
, H01S 3/225
H01S 3/097 E
, H01S 3/03 Z
, H01S 3/223 E
