特許
J-GLOBAL ID：200903072863800877
圧力センサ及びそれを使用する圧力測定システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 敬一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051787
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260617
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 構造が簡単でかつ1本の光ファイバにより圧力を高精度に検出できる圧力センサを提供する。【構成】 この発明による圧力センサ10は、光学的に平坦な反射面1aを有する中央厚肉部1及び中央厚肉部1の周囲に形成された環状薄肉部2を有しかつ可撓性を有するダイアフラム3と、ダイアフラム3の反射面1aに対向しかつギャップ4を形成すると共にダイアフラム3を支持するベース8と、ギャップ4を介してダイアフラム3の反射面1aに対向する端面6aを有しかつダイアフラム3の反射面1aに対してほぼ垂直にベース8に固定された1本の光ファイバ6とを備えている。この圧力センサ10では、圧力によるダイアフラム3の変位により光ファイバ6の端面6aとダイアフラム3の反射面1aとの間の光学距離が変化するので、同心円状の干渉縞の数が変化する。したがって、この干渉縞の数の変化を検知することにより、圧力を高精度に測定することができる。
請求項（抜粋）：
光学的に平坦な反射面を有しかつ可撓性を有するダイアフラムと、ダイアフラムの反射面に対向しかつギャップを形成すると共にダイアフラムを支持するベースと、ギャップを介してダイアフラムの反射面に対向する端面を有しかつダイアフラムの反射面に対してほぼ垂直にベースに固定された光ファイバとを備えた圧力センサにおいて、ベースに固定した1本の光ファイバの端面からダイアフラムの反射面に可干渉性光を照射し、ダイアフラムの反射面及び光ファイバの端面間で多重干渉させて同心円状の干渉縞を発生し、ダイアフラムへの圧力発生時にダイアフラムの撓みによりダイアフラムの反射面及び光ファイバの端面間の光学距離が変化し、この光学距離の変化に対して変化する干渉縞の数を光ファイバの端面から検出してダイアフラムに加えられる圧力を検出することを特徴とする圧力センサ。
IPC (5件)：
G01L 23/22
, G01B 9/02
, G01B 11/16
, G01L 1/00
, G01L 1/24
