圧電多チャンネルポンプ及び駆動制御方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-292412
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147104
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【構成】これまで圧電素子1を取付けポンプ室11として利用していた最終段のポンプ室11′を、圧力を調整するための調圧室30として利用し、又、各チャンネル間をフッ素樹脂製の薄膜2で仕切るように構成した。このように構成した多チャンネルポンプ10をコントローラ4(図示せず)駆動させると、あるチャンネルの圧力が隣接するチャンネルの圧力と異なっている場合、薄膜2は両チャンネル間の圧力差で弾性変形を生じ、両チャンネルの圧力が同一となるような位置へ移動する。【効果】各チャンネル毎の流量分配性能が、ほぼ同一レベルに平滑化され、良好な流量特性をもつ多チャンネルポンプを実現することができる。

請求項（抜粋）：

圧電素子と、前記圧電素子を駆動制御するコントローラとを備え、複数個の吐出口を有する多チャンネルポンプにおいて、前記圧電素子により駆動エネルギを与えた液体を、駆動エネルギを与えない調圧室に収納し、隣接するチャンネル間を弾性変形可能な薄膜ないし可動部品で仕切るように構成したことを特徴とする圧電多チャンネルポンプ。

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