特許
J-GLOBAL ID：200903072866063652
微粒子検出方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-061672
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229871
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 表面の平坦度を保ちにくいフィルム基板の表面に微粒子が付着しているか否かを簡単な装置で容易に検出することができるようにする。【解決手段】 搬送される長尺なフィルム基板2を受けローラ6に受けさせると、この受け部分におけるフィルム基板2の表面の微小な範囲の平坦度(つまり、微小な範囲の直線度)を容易に高いものとすることができる。そして、受けローラ6の軸方向の一方側に配置されたレーザー光発生部14からレーザー光15を照射し、この照射光を受けローラ6の軸方向の他方側に配置された受光素子16で受光する。フィルム基板2の表面に微粒子が付着している場合には、この付着微粒子によってレーザー光15が遮られ、受光素子16の受光量が減少する。これにより、フィルム基板2の表面に微粒子が付着しているか否かを検出することができる。
請求項（抜粋）：
基板を搬送し、前記基板の搬送方向に対して直交する方向の一方側からレーザー光などの方向性を持つ光を前記基板の搬送方向に対して直交する方向の他方側に向かってかつ前記基板の表面に沿って該表面と平行に照射し、この照射光を前記基板の搬送方向に対して直交する方向の他方側で受光し、この受光結果に基づいて前記基板の表面に微粒子が付着しているか否かを検出することを特徴とする微粒子検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, G01N 15/14 Q
