特許
J-GLOBAL ID：200903072867136351
ドライエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-129164
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335627
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】エッチング用ガスをプラズマ化して発生するラジカルやイオンにより被処理物のエッチングを行うドライエッチング装置であって、被処理物表面にパーティクルが付着するのを抑制でき、それによりエッチングの歩留りを向上させることができるドライエッチング装置を提供する。【構成】真空容器1内の少なくとも被処理物Sに対向する面の少なくとも一部を覆う、ポリテトラフルオロエチレン、エチレン-テトラフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体、エチレン-クロロトリフルオロエチレン共重合体及びポリクロロトリフルオロエチレンのうち1若しくは2以上を含むフッ素樹脂、又は、ポリイミド樹脂からなるシート41を備えたことを特徴とするドライエッチング装置。
請求項（抜粋）：
真空容器内で、エッチング用ガスをプラズマ化して発生するラジカルやイオンにより被処理物のエッチングを行うドライエッチング装置であって、該真空容器内の少なくとも被処理物に対向する面の少なくとも一部を覆う、ポリテトラフルオロエチレン、エチレン-テトラフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体、エチレン-クロロトリフルオロエチレン共重合体及びポリクロロトリフルオロエチレンのうち1若しくは2以上を含むフッ素樹脂、又は、ポリイミド樹脂からなるシートを備えたことを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (2件)：
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