特許

J-GLOBAL ID：200903072869892978

ポリイミド樹脂組成物

発明者： 大西 龍也 ,  角田 真由美
出願人/特許権者： 東芝ケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-086238
公開番号（公開出願番号）：特開平5-247210
出願日： 1992年03月10日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【構成】 本発明のポリイミド樹脂組成物は、ポリイミド樹脂の50 mol%以上の酸成分がビフェニルエーテルテトラカルボン酸成分で、またジアミン成分が50〜99 mol%の芳香族ジアミンと50〜1 mol %のシジアミノシロキサンで構成されることを特徴とする。【効果】 本発明によれば、特定の酸成分・ジアミン成分によりポリイミド樹脂が構成されるので、その硬化物は特に強フッ酸などの酸処理に対しても十分耐えられる。従って、半導体素子の保護膜、多層配線の層間絶縁膜、FPC用基板等として好適なものである。

請求項（抜粋）：

次の一般式で示されるポリイミド樹脂であって、【化1】(但し、式中R1 は 4価の有機基を、R2 は 2価の有機基を表す)(A)R1 を構成する全酸成分のうち50 mol%以上が、次の一般式で示されるビフェニルエーテルカルボン酸成分であり、【化2】(B)(a )R2 を構成する全ジアミン成分のうち50〜99 mol%が、次の一般式で示されるジアミン化合物であり、【化3】(但し、式中Xは-CH2 -,-O-,-C(CH3 )2 -,-SO2 -,-C(CF3 )2 -を表す)(b )R2 を構成する全ジアミン成分のうち50〜1 mol %が、次の一般式で示されるジアミノシロキサンである【化4】(但し、式中R3 およびR4 は 2価の有機基を、R5 〜R8 は炭素数 1〜6 の炭化水素基を表し、n は 0又は12以下の整数を表す)ことを特徴とするポリイミド樹脂組成物。

IPC (3件)：

C08G 73/10 NTF ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31