特許

J-GLOBAL ID：200903072871836783

膜厚測定装置及びアライメントセンサ並びにアライメント装置

発明者： 中島 康晴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-170374
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002514
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 自動化による効率化と省人化を図り、効率的に検査や測定を行えるうえに、検査物、測定物を汚染することがないエッジ検査装置、膜厚測定装置、及びアライメントセンサ並びにアライメント装置を提供する。【解決手段】 ハロゲンランプ10を有し、被検査ウェハ20のエッジ近傍を含み、かつ所定方向に伸びる測定領域に光を照射する照射光学系と、測定領域からの反射光を上記所定方向に対して交差する方向に分光させる分散プリズム22と、分光された反射光を結像するレンズ24と、レンズ24により結像された画像を撮像するCCDカメラ26と、CCDカメラ26からの信号に基づいて被検査ウェハ20のエッジを検査するパーソナルコンピュータ28とを備える。

請求項（抜粋）：

被検査物の所定方向に伸びる測定領域を照明する照明光学系と、前記測定領域からの反射光を前記所定方向に対して交差する方向に分光させる分光手段と、分光された前記反射光を結像する結像光学系と、前記結像光学系により結像された画像を撮像する二次元撮像素子と、前記二次元撮像素子からの信号に基づいて前記被検査物の膜厚を検出する膜厚検出手段とを具備することを特徴とする膜厚測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 11/06 H ,  G01B 11/00 C

Fターム (35件)：

2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA18 ,  2F065AA30 ,  2F065CC17 ,  2F065CC31 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065DD13 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065FF67 ,  2F065GG03 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL50 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02