特許

J-GLOBAL ID：200903072872928290

テープキャリア欠陥検査システム、テープキャリア欠陥検査方法及びテープキャリア欠陥検査装置

発明者： 井手元 浩 ,  松井 秀樹 ,  中森 幸雄
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  日本インターコネクションシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-029964
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227402
出願日： 1999年02月08日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】 検査装置が稼働中であっても検査情報を設定することができるテープキャリア欠陥検査システムを提供する。【解決手段】 設定・検証装置Bと、テープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査する複数の検査装置A1 ,A2 ,・・・ ,AN とを相互に接続する。設定・検証装置Bは、設定用撮像手段でテープキャリアのサンプル片を撮像して得られた画像を画面上に表示し、その画面上で入力手段から入力された指示に基づいて検査情報をテープキャリアの種類毎に設定する。ここで、設定用撮像手段は、検査装置A1 ,A2 ,・・・ ,AN の検査用撮像手段と同じ光学系を持ち、検査用撮像手段での撮像時の環境と同じ環境下でサンプル片を撮像する。各検査装置A1 ,A2 ,・・・ ,AN は、設定・検証装置Bから所望のテープキャリアの種類に対する検査情報を読み出し、その読み出した検査情報を用いて検査を行う。

請求項（抜粋）：

テープキャリアのサンプル片を撮像する設定用撮像手段と、前記設定用撮像手段で得られた画像を表示手段の画面上に表示させ、その画面上で入力手段から入力された指示に基づいて検査項目と前記検査項目についての検査アルゴリズムに用いられるパラメータとを設定する設定用制御手段と、前記設定された前記検査項目及び前記パラメータを前記テープキャリアの種類毎に記憶する記憶手段とを有する設定装置と、前記設定装置と相互に接続されたものであって、前記設定装置から所望の前記テープキャリアの種類に対する前記検査項目及び前記パラメータを読み出す検査用制御手段と、前記テープキャリアを所定の送り量ずつ搬送する搬送手段と、前記設定用撮像手段と同じ光学系を持ち、前記搬送手段により所定の検査領域に搬送されてきた前記テープキャリアを前記設定用撮像手段での撮像時の環境と同じ環境下で撮像する検査用撮像手段と、前記検査用撮像手段で得られた画像に、前記読み出した前記パラメータを用いて前記検査項目についての検査アルゴリズムに従った処理を施すことにより、前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査する欠陥検査手段とを有する一又は複数の検査装置と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査システム。

IPC (2件)：

G01N 21/89 ,  G06T 7/00

FI (3件)：

G01N 21/89 610 A ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/70 330 N

Fターム (30件)：

2G051AA31 ,  2G051AB03 ,  2G051AB20 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB09 ,  2G051ED11 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA02 ,  5B057CA06 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08 ,  5B057DC04 ,  5B057DC06 ,  5L096AA07 ,  5L096BA03 ,  5L096BA18 ,  5L096CA05 ,  5L096FA17 ,  5L096FA59 ,  5L096FA60 ,  5L096JA14