特許

J-GLOBAL ID：200903072884172388

プラズマ発生方法

発明者： 島田 浩行 ,  深田 武 ,  坂間 光範 ,  竹村 保彦
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-291313
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156006
出願日： 1994年07月07日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【目的】 クラスタを抑制するプラズマ発生方法【構成】 反応分子が導入され、プラズマを発生させる装置において、プラズマを発生させるための交流電源として、高周波(周波数、10〜100MHz)を低周波(周波数、1k〜1MHz)で振幅変調し、これを極低周波(1〜200Hz)の繰り返し周波数でパルス発振させたものを用いることによって、反応分子のクラスタを抑制する。

請求項（抜粋）：

高周波を使ったプラズマ発生方法において、前記高周波の電圧を、低周波を使った変調器によって変調率100%未満で振幅変調させ、かつ、極低周波パルスを使った変調器によってオン/オフさせることを特徴とするプラズマ発生方法。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/505 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/505 ,  H01L 21/31 C ,  H05H 1/46 M