特許
J-GLOBAL ID：200903072885345855
磁気浮上スライダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-236463
公開番号（公開出願番号）：特開平7-095704
出願日： 1993年09月22日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 磁気浮上スライダの走行路であるレールの施設精度を測定することができるような磁気浮上スライダを提供する。【構成】 電磁石取付台9の四隅のうち3つの隅に電磁石11a,11b,11cがギャップセンサ12a,12b,12cとともに設けられ、電磁石11a,11b,11cの設けられていない隅にはギャップセンサ12dのみが設けられる。ギャップセンサ12a,12bの上方には案内用レール13aが設けられ、ギャップセンサ12d,12cの上方には案内用のレール13bが設けられており、ギャップセンサ12a,12b,12cの出力で電磁石11a,11b,11cを制御して所定のギャップにしておき、ギャップセンサ12dの出力を検出してレール13a,13bの精度を測定する。
請求項（抜粋）：
複数のギャップセンサによってレールとの間の隙間を検出し、電磁石によってスライダがレール上を浮上しながら走行する磁気浮上スライダにおいて、前記複数のギャップセンサのうち少なくとも1つのギャップセンサの出力によって、前記レールの精度を測定することを特徴とする、磁気浮上スライダ。
IPC (2件)：
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