特許

J-GLOBAL ID：200903072887147910

動的ガス流コントローラ

発明者： マイケル イー. ウィルマー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-144979
公開番号（公開出願番号）：特開平11-045122
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】リザーバから半導体プロセスチャンバへのガスの送出を制御するための方法と装置を提供する。【解決手段】 リザーバがレシピステップの開始時にガスで充填され、ガスの温度と圧力が測定されてガスの初期質量が決定される。リザーバからチャンバへのガス流が自己較正式動的流量制御回路に制御された可変流量バルブによって計量される。運転時にはリザーバからガスが放出され、可変流量バルブと音波オリフィスを介してチャンバに当該ガスが向けられる。可変流量バルブは測定ガス流量に応答して動的に制御される。チャンバへのガス流が終了するとガスの最終質量が決定される。ガスの初期値と質量値とが比較されて、ステップ中に放出されたガスの実際の質量が決定される。この値は装置較正定数を更新するために、較正サーボループに入力される。較正サーボループを実行っすると、動的サーボループが連続的自己較正される。

請求項（抜粋）：

既知の容積を有するリザーバから流出するガス流を制御するための方法であって、所望流れ入力信号と較正信号とを第1回路に提供し、被較正流れ入力信号を発生するステップと、前記被較正流れ入力信号を流量制御回路に提供するステップであって、前記流量制御回路が、前記リザーバの下流のガス流路に配置された流量制御バルブへの制御信号を発生して前記ガス流を制御するステップと、リザーバ出口隔離バルブを開くことによって前記リザーバからガスを放出するステップと、前記ガス流路内の前記ガス流を前記流量制御バルブ下流の場所で検出して、該ガス流を示す被測定流量信号を、前記第1制御回路に提供するステップと、前記リザーバ出口隔離バルブが開いている全期間にわたって前記所望流れ入力信号を積分することによって、前記リザーバから放出すべきガスの所望質量を算出し、該所望質量を示す第1信号を発生するステップと、前記出口隔離バルブを開く前の第1時点での前記リザーバ内にあるガスの第1質量を、前記出口隔離バルブを閉じた後の第2時点での前記リザーバ内にある前記ガスの第2質量と比較することによって、前記リザーバから放出されたガスの実際質量を算出して、該実際質量を示す第2信号を発生させるステップと、前記第1信号と第2信号とを比較して、更新された較正信号を発生させるステップと、を備える方法。