特許

J-GLOBAL ID：200903072887760540

酸分解性化合物及びそれを含有するポジ型感放射線性レジスト組成物

発明者： 小柳 敬夫 ,  梅田 真一 ,  北折 智之 ,  福永 誠規 ,  長澤 孝太郎
出願人/特許権者： 日本化薬株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-150945
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043630
出願日： 1991年05月28日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、放射線照射により酸を発生する化合物及び発生した酸により分解する下記式【化1】(式においてR1 〜R4 は水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を示す。)の酸分解性化合物を含有するポジ型感放射線性レジスト組成物を溶媒に溶解して感光液とする。この感光液をシリコンウェハーもしくはクロム蒸着板のような基板上に塗布し、次に70から120°Cの温度でベークすることにより乾燥させた後、遠紫外線、電子線等の放射線を照射し、更に70から130°Cの温度で加熱し、次いでアルカリ水溶液で現像処理することにより転写パタ-ンを得る。【効果】本発明のポジ型感放射線性レジスト組成物は、放射線に対する感度が高く、転写されたパターンは、膨潤がなく解像度に極めて優れ、さらにドライエッチング耐性及び耐熱性等にも優れている。

請求項（抜粋）：

式(1)【化1】(式(1)中、R1 、R2 、R3 、R4 はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1から5のアルキル基を示す。)で示される酸分解性化合物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027