特許
J-GLOBAL ID：200903072890613647
人工ダイヤモンド被覆膜
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330687
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172087
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】剥離しにくい人工ダイヤモンド被覆膜を安価に提供し、安価で十分実用性を有する超硬質工具や耐摩耗性機械部品等の利用に供する。【構成】基材の表面に気相合成する人工ダイヤモンド被覆膜を、合成圧力,原料ガス比またはマイクロ波電力値から選ばれる少なくとも一つを変化させた合成条件からなる複数層の膜で構成した。基材とダイヤモンド被覆膜との界面に発生したクラックが成膜方向に伝搬しても、合成条件の異なる膜の中間界面でクラックの伝搬が止まり膜の剥離が効果的に防止されるから、安価な基材を使用できる。
請求項（抜粋）：
基材の表面に気相合成した人工ダイヤモンド被覆膜において、前記人工ダイヤモンド被覆膜が合成圧力,原料ガス比またはマイクロ波電力値から選ばれる少なくとも一つを変化させた合成条件からなる膜で構成された被覆膜であることを特徴とする人工ダイヤモンド被覆膜。
IPC (2件)：
引用特許：
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