ソリッドイマージョンレンズを使用した光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：眞鍋潔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-297786
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107358
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】ソリッドイマージョンレンズを使用した光学装置に関し、SILによる試料引きずり量を低減して画像の歪みを低減する。【解決手段】光学装置に設けたソリッドイマージョンレンズ1または試料台2の少なくとも一方を強制振動させる加振手段5を設ける。

請求項（抜粋）：

ソリッドイマージョンレンズを使用した光学装置において、ソリッドイマージョンレンズまたは試料台の少なくとも一方を強制振動させる加振手段を設けたことを特徴とするソリッドイマージョンレンズを使用した光学装置。

Fターム (9件)：

2H052AA07 , 2H052AC04 , 2H052AC15 , 2H052AC18 , 2H052AC34 , 2H052AD13 , 2H052AD29 , 2H052AD31 , 2H052AF02

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