光学式ガスセンサおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小川勝男 , 田中恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-110578
公開番号（公開出願番号）：特開2006-292451
出願日： 2005年04月07日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：

【課題】金属酸化膜と触媒金属膜の多層構造から構成される光学式ガスセンサにおいて、従来の全面に触媒金属膜を形成する検知膜で発生していた検知光透過率の減少に伴うS/N比の悪化と検知システム光部品構成の困難さ。【解決手段】透過率向上のため、従来全面に形成していた触媒金属膜を、検知膜である金属酸化膜を配向性膜等基材と垂直な面を有する3次元構造の形態とし、基材と垂直な面のみに触媒金属層を形成する。これにより直接金属酸化膜を通過する光量を増大させ、検知光強度の減衰を抑制、S/N比の高い検知が可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持基板上に形成された金属酸化膜よりなる検知膜と前記検知膜に接するように形成された金属触媒膜とを備え、前記検知膜は、前記支持基板に接する面が前記支持基板の表面積より小さい面積を有する三次元構造からなり、前記金属触媒膜は、前記支持基板表面に対向する前記検知膜の表面領域を除く前記検知膜の表面に形成されていることを特徴とした光学式ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 21/75 , G01N 33/22

FI (2件)：

G01N21/75 Z , G01N33/22 E

Fターム (8件)：

2G054AA01 , 2G054CA04 , 2G054EA04 , 2G054FA16 , 2G054FA21 , 2G054FA32 , 2G054GE06 , 2G054JA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭60-039536号公報
特開昭62-257047号公報

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