特許
J-GLOBAL ID：200903072911742930
二軸延伸ポリエステルフィルム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-221966
公開番号（公開出願番号）：特開平9-067454
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】 特に半導体装置製造時に用いられる粘着テープの基材として用いるのに適した、イオン性不純物の含有量の少ないポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】 ゲルマニウム元素を10〜200ppm、および平均粒径0.001〜5μmの二酸化珪素粒子を0.01〜2重量%含有し、かつ他の金属成分を実質的に含まないことを特徴とする、厚みが25〜100μmの二軸延伸ポリエステルフィルム。
請求項（抜粋）：
ゲルマニウム元素を10〜200ppm、および平均粒径0.001〜5μmの二酸化珪素粒子を0.01〜2重量%含有し、かつ他の金属成分を実質的に含まないことを特徴とする、厚みが25〜100μmの二軸延伸ポリエステルフィルム。
IPC (8件)：
C08J 5/18 CFD
, B29C 55/12
, C08K 3/08 KJQ
, C08K 3/36 KJS
, C08L 67/00
, B29K 67:00
, B29K105:16
, B29L 7:00
C08J 5/18 CFD
, B29C 55/12
, C08K 3/08 KJQ
, C08K 3/36 KJS
, C08L 67/00
