特許
J-GLOBAL ID：200903072912422050
合成石英ガラスの内部吸収係数測定方法および測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222162
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062346
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 合成石英ガラスでの波長210nm〜160nmの範囲の所望の光についての内部吸収係数を、0.001cm-1以下の精度で測定出来る方法を提供する。【解決手段】 合成石英ガラス27に対し前記所望の光を照射したときに前記合成石英ガラスから発せられる波長300nmを主波長とする光の強度から、前記内部吸収係数を推定する。
請求項（抜粋）：
合成石英ガラスでの波長210nm〜160nmの範囲の所望の光についての内部吸収係数を測定するに当たり、前記合成石英ガラスに対し前記所望の光を照射したときに前記合成石英ガラスから発せられる波長300nmを主波長とする光の強度から、前記内部吸収係数を推定することを特徴とする合成石英ガラスの内部吸収係数測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/63 Z
, C03B 20/00
