特許
J-GLOBAL ID：200903072914291638
クリーンルーム用空気吹出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-309394
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148368
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、半導体工場,精密機械工場および薬品製造工場などに設置されるクリーンルーム用空気吹出装置に関し、簡易な構造で、室内の広範囲に、均一な清浄空気を供給することを目的とする。【解決手段】 クリーンルーム天井面に設置されている給気ボックスの供給口下部に、前記供給口を覆って配置され、多数の小孔が穿孔される側面部,斜面部および底面部からなる四角容器状の内部拡散ユニットと、前記天井板の下部に、前記内部拡散ユニットを覆って配置され、多数の小孔が穿孔される側面部,斜面部および底面部からなる四角容器状の外部拡散ユニットとを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム天井面に設置されている給気ボックスの供給口下部に、前記供給口を覆って配置され、外面に多数の小孔が穿孔される容器状の内部拡散ユニットと、前記天井板の下部に、前記内部拡散ユニットを覆って配置され、外面に多数の小孔が穿孔される容器状の外部拡散ユニットと、を有することを特徴とするクリーンルーム用空気吹出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F24F 7/06 C
, F24F 13/06 A
