特許
J-GLOBAL ID：200903072927165917
基板表面の検査装置及び検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-000275
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197465
出願日： 1997年01月06日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】液滴の粒子径が小さく且つ不純物を含まない清浄な水蒸気を得ることにより、基板表面を汚染することなく且つ簡単な装置及び操作で基板表面の汚れの検査を行う。【解決手段】純酸素と純水素による燃焼により発生する水蒸気を基板11表面に当てて基板表面に結露像12を生じさせることにより基板表面の汚れを判定する。
請求項（抜粋）：
燃焼ノズルと、該燃焼ノズルにチューブを介して接続された酸素ボンベと水素ボンベとを備えたことを特徴とする基板表面の検査装置。
IPC (3件)：
G01N 25/68
, G01N 21/84
, H01L 21/66
G01N 25/68 B
, G01N 21/84 D
, H01L 21/66 J
