特許
J-GLOBAL ID：200903072936017068
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-263451
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118657
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 照度の低下を招来することなく、光源の切り替えが可能となり、処理能力を向上させることができる露光装置を提供する。【構成】 露光装置の照明系において、光源11とインテグレータ17との間の倍率切り替えレンズ16により、二次光源の大きさを倍率を切り替えて拡大縮小する。また、片面に凸型三角錘面を持つ光学部品と、片面に凹型三角錘面を持つ光学部品との間の距離を変えることにより、二次光源を輪帯形状にし、この外径と内径との比率を可変にする。【効果】 任意の大きさの輪帯光源及び円形光源を低損失に形成可能にすることにより、各種のレチクルパターンに合わせて最適な輪帯又は円形光源に切り替えて露光する場合においても、照度の低下を招くことなく、光源の切り替えが可能となり、処理能力の低下を回避できる。
請求項（抜粋）：
その照明系において、光源と、インテグレータと、前記光源とインテグレータとの間の光路に設けられた倍率切り替えレンズ手段と、前記インテグレータの出口側に設けられた開口絞りとを有し、前記倍率切換レンズ手段は複数種類用意された倍率切り替えレンズを切り替えることにより照明光の二次光源像を倍率切り替えで拡大縮小して二次光源を形成すると共に、前記開口絞りにより前記二次光源の形状を決定することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 521
, G03B 27/32
, H01L 21/027
