特許
J-GLOBAL ID：200903072938076681
原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-014264
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203444
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡として、その表面解析力の向上及びカンチレバーの長寿命化を目的とし、これの好適な製造方法を提供する。【構成】 原子間力顕微鏡用カンチレバーとして、その先端にダイヤモンドを有するカンチレバーの製造方法。
請求項（抜粋）：
シリコンウエハの前面にフォトレジストを形成する工程と、該フォトレジストをパターニングする工程と、該パターニングしたフォトレジストをマスクとして前記シリコンウエハをエッチングする工程と、エッチング終了後に前記フォトレジストを剥離する工程と、前記シリコンウエハのエッチング対向面に傷入れを行う工程と、該傷入れ部に探針となるダイヤモンドを成長させる工程と、該ダイヤモンド成長後前記シリコンウエハ表面に酸化膜を形成する工程と、該酸化膜表面に窒化膜を形成する工程と、前記ダイヤモンド探針部及びシリコンウエハ裏面の窒化膜を取り除くエッチングのためのフォトレジストパターニングマスクを形成する工程と、該フォトレジストパターニングマスクを除去する工程と、前記シリコンウエハのダイヤモンド探針形成側の酸化膜が露出するまで前記シリコンウエハのエッチング部をさらにエッチングする工程とエッチング終了後に、前記シリコンウエハのエッチング部に金属薄膜を形成する工程とからなる原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
