クリーンルームのクリーンシステム及び移動式クリーンユニット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山木義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-151338
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341686
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】クリーンルームの完成後であっても、大がかりな改造工事を必要とすることなくクリーンルームの清浄度を自由に可変させることができるクリーンシステムを提供する。【構成】室内60の空気を強制的に排出させ、この空気を清浄化して再び室内60に供給し、この循環操作を連続的に繰返すことにより室内60の空気の清浄度を向上させるクリーンルーム60において、必要に応じて必要な位置に必要な台数の移動式クリーンユニット65を配置することにより室内60の清浄度を自由に可変させる。【効果】既設のクリーンルームの必要な位置に必要な台数の移動式クリーンユニットを配置することにより、大がかりな改造工事を必要とすることなく清浄度を自由に可変させることができ、特に給気と還気のバランスを向上させて、室内のあらゆる位置の空気の清浄度を均一に向上させることが可能となる。

請求項（抜粋）：

室内の空気を強制的に排出させ、この空気を清浄化して再び室内に供給し、この循環操作を連続的に繰返すことにより室内の空気の清浄度を向上させるクリーンルームにおいて、必要に応じて必要な位置に必要な台数の移動式クリーンユニットを配置することにより清浄度を自由に可変させることを特徴とするクリーンルームのクリーンシステム。

IPC (2件)：

F24F 7/06 , E04H 5/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-347436
特開昭60-140034
特開平4-347436

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