特許
J-GLOBAL ID：200903072942347738
部材の姿勢制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-222399
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064764
出願日： 1997年08月19日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 構成の簡素化及び小形化を図る。【解決手段】 一対のアーム14a,14bを介して反射鏡13をホルダー12に取付ける。アーム14a,14bを姿勢調節部材16と、この姿勢調節部材16の他端部に固定された弾性部材17とから構成する。姿勢調節部材16を、電極としての金属板に挟まれた圧電アクチュエータ19により構成する。圧電アクチュエータ19に電圧を印加すると、圧電アクチュエータ19はホルダー12に対して垂直な方向に伸縮し、これにより反射鏡13の姿勢を傾けたり、平行移動させることができる。
請求項（抜粋）：
ホルダーと、被制御部材と、前記ホルダーと前記被制御部材とを連結し、電圧が印加されることにより前記被制御部材を変位させる圧電アクチュエータからなる姿勢調節部材と、前記圧電アクチュエータに直流電圧を印加する電圧印加手段とを備えたことを特徴とする部材の姿勢制御装置。
IPC (5件)：
G02B 26/10
, G02B 7/00
, G02B 7/198
, H01L 41/09
, H02N 2/00
G02B 26/10 F
, G02B 7/00 A
, H02N 2/00 B
, G02B 7/18 B
, H01L 41/08 M
