特許

J-GLOBAL ID：200903072943254040

超音波センサの接触状態の確認方法、超音波センサの接触状態の確認機能を備えたプラズマ異常放電監視装置、及び、プラズマ処理装置

発明者： 八坂 三夫 ,  竹下 正吉
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  株式会社東京カソード研究所
代理人 (1件)： 眞鍋 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370611
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173897
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】 超音波センサの接触状態の確認に関し、AEセンサを均一に取り付けるとともに、取付け状態の経時変化を監視して、異常放電の検出精度の確保と信頼性の向上を図る。【解決手段】 プラズマ処理装置に少なくとも3個の超音波センサ1〜3を取り付けるとともに、その内の1個の超音波センサ1を送波用とし、その他の超音波センサ2,3を受波用として組合せ、前記送波用超音波センサ1からの超音波信号を前記他の超音波センサ2,3で受波し、この送波用と受波用の切替えを順次行うことによって、各超音波センサ1〜3の接触状態を確認する。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置に少なくとも3個の超音波センサを取り付けるとともに、その内の1個の超音波センサを送波用とし、その他の超音波センサを受波用として組合せ、前記送波用超音波センサからの超音波信号を前記他の受波用超音波センサで受波し、この送波用と受波用の切替えを順次行うことによって、各超音波センサの接触状態を確認することを特徴とする超音波センサの接触状態の確認方法。

IPC (5件)：

H05H 1/00 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

H05H 1/00 A ,  C23C 14/34 U ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 E

Fターム (8件)：

4K029DC35 ,  4K029EA00 ,  4K030FA01 ,  4K030KA39 ,  5F004AA16 ,  5F004CB01 ,  5F004CB20 ,  5F045GB08