特許

J-GLOBAL ID：200903072946892218

感放射線性樹脂組成物

発明者： 山近 幹雄 ,  村田 誠 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-340980
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167810
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 現像性、接着性、耐熱性、耐ドライエッチング性等に優れるとともに、高感度であり、優れた矩形形状のパターンプロフィルに解像することができるレジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (イ)下記式(1)で表される有機基を側鎖に有する重合体および(ロ)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(ここで、t-Buはt-ブチル基を示し、nは1〜5の整数である。)

請求項（抜粋）：

(イ)下記式(1)で表される有機基を側鎖に有する重合体および(ロ)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(ここで、t-Buはt-ブチル基を示し、nは1〜5の整数である。)

IPC (5件)：

G03F 7/038 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027