特許
J-GLOBAL ID：200903072951577045
高周波加減速器、および、その使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043572
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237700
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 構成が簡単で、入射エネルギに対するアクセプタンスが広い高周波加減速器を提供する。【解決手段】 高周波加減速器27は、内部に空洞2が形成された略円筒上のタンク1を備えている。当該空洞2内のイオンビームの通路には、第1および第2の電極3・4が配される。これにより、イオンビームの入射側および出射側のタンク1内壁と各電極3・4との間には、3つのギャップ2a・2b・2cが形成される。また、各電極3・4は、それぞれ、第1コイル5あるいは第2コイル6によって、タンク1の底面1bへ接続されている。電力入力部8は、第2コイル6近傍に配された電力用プレート9を介して高周波を印加し、両電極3・4は、同位相あるいは逆位相で励振する。高周波加減速器27が2つの共振モードを持つので、同期エネルギEsが2つ設けられる。
請求項（抜粋）：
内部に空洞が形成された導電体の容器を含む共振回路と、該共振回路へ電力を供給する駆動手段とを有する高周波加減速器において、上記共振回路は、上記空洞内に配され、上記駆動手段からの電力により励振する複数の駆動用電極を備えており、上記空洞内の荷電粒子の通路上には、上記駆動用電極によって、3つ以上のギャップが形成されていることを特徴とする高周波加減速器。
IPC (4件)：
H05H 9/00
, C23C 14/48
, H01J 37/317
, H01L 21/265
H05H 9/00 Z
, C23C 14/48 Z
, H01J 37/317 Z
, H01L 21/265 D
