特許
J-GLOBAL ID:200903072970622213
新規ノボラック樹脂、その製造法及びその用途
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-177319
公開番号(公開出願番号):特開平9-031147
出願日: 1995年07月13日
公開日(公表日): 1997年02月04日
要約:
【要約】【解決手段】 下記一般式(1)で表されるノボラック樹脂、および、該樹脂を用いた感光性樹脂組成物。【効果】 感度および解像度に優れた感光性樹脂組成物として有用な化合物を提供する。
請求項(抜粋):
一般式(1)(化1)で表される新規なノボラック樹脂。【化1】(式中、R1 は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ニトロ基またはハロゲン原子を表し、互いに異なっていても同一であってもよく、R2 、R3 はそれぞれ独立に水素原子、置換されていても良いアルキル基、シクロアルキル基、ベンジル基またはフェニル基を、mは0〜100の整数を、nは1〜3の整数を表す)
IPC (4件):
C08G 8/20 NBV
, C08L 61/06 LMR
, G03F 7/023 511
, G03F 7/039 501
FI (4件):
C08G 8/20 NBV
, C08L 61/06 LMR
, G03F 7/023 511
, G03F 7/039 501
引用特許: