静圧スライドテーブル装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-057094
公開番号（公開出願番号）：特開2001-248643
出願日： 2000年03月02日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】前方に偏った荷重がかかっても、スライドテーブルが支持台に対して傾くことが防止された静圧スライドテーブル装置を提供すること。【解決手段】本発明の静圧スライドテーブル装置は、上下一対の案内面11,12をもつ支持台1と、案内面11,12に所定の間隙をもってそれぞれ対向する上下一対の摺動面21,22をもつスライドテーブル2とを有する。スライドテーブル2の下向きの摺動面21には、支持台1の供給孔3から供給される所定圧の潤滑油を受ける溝である中継ポート5がある。中継ポート5は、供給孔3から供給される潤滑油を分配孔6に中継し、潤滑油は分配孔6から各摺動面21,22に供給される。中継ポート5はスライドテーブル2の前方に偏って形成されているので、摺動面21にかかる静圧分布も前方に偏っていて、前方に偏った搭載物Lの重量Wの作用が相殺され、スライドテーブル2が前方に傾かない。

請求項（抜粋）：

所定の間隔を開けて互いに対向する少なくとも上下一対の案内面をもつ支持台と、該案内面に所定の間隙をもってそれぞれ対向する少なくとも上下一対の摺動面をもつスライドテーブルとを有し、前記支持台は、所定の圧力に加圧された潤滑油を前記スライドテーブルに供給する供給孔をもち、前記スライドテーブルは、前記支持台の前記供給孔から供給される前記潤滑油を分配する分配孔と、該分配孔からの該潤滑油が供給され各該摺動面に所定の範囲で開口して形成された凹部である静圧ポケットとをもち、前記潤滑油が前記静圧ポケットから互いに対向する前記案内面と前記摺動面との間の前記間隙に供給され、該潤滑油の静圧によって、前記スライドテーブルは前記支持台に対してスライド可能に支持される静圧スライドテーブル装置において、前記支持台の前記供給孔は、両前記案内面のうち下側のものから前記スライドテーブルの両前記摺動面のうち下面に向かって開口する開口端をもち、前記スライドテーブルは、前記摺動面のうち前記下面に形成された凹部であって前記分配孔が連通している中継ポートをもち、前記中継ポートは、前記スライドテーブルの前記下面のうち前記静圧ポケットとは異なった位置に形成されており、少なくとも前記スライドテーブルの可動範囲では前記供給孔の前記開口端を覆って、該供給孔から供給される前記潤滑油を前記分配孔に中継する機能をもつ、ことを特徴とする静圧スライドテーブル装置。

IPC (2件)：

F16C 32/06 , B23Q 1/38

FI (2件)：

F16C 32/06 A , B23Q 1/26 E

Fターム (14件)：

3C048BC02 , 3C048CC07 , 3C048DD01 , 3C048EE08 , 3J102AA02 , 3J102BA05 , 3J102BA13 , 3J102CA11 , 3J102CA40 , 3J102EA03 , 3J102EA08 , 3J102EA10 , 3J102EA12 , 3J102GA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭64-051241
特公昭40-005747
特開昭64-051241

全件表示

前のページに戻る