特許

J-GLOBAL ID：200903072981243028

基板検査装置

発明者： 佐藤 卓
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080025
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275594
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、被検査基板の欠陥検査を効率よく行なうことができる基板検査装置を提供する。【解決手段】マクロ観察用ユニット7とミクロ観察ユニット8を有する観察ユニット6と一体に、ミクロ観察ユニット8を構成するデジタルカメラ9とともに、液晶モニター10を設け、観察ユニット6の被検査基板3上の移動とともに、被検査基板3表面をデジタルカメラ9により撮像し、液晶モニター10上に表示する。

請求項（抜粋）：

被検査基板を保持する被検査基板保持手段と、この被検査基板保持手段に保持された被検査基板面上に沿って移動可能に設けられた観察ユニットと、この観察ユニットに設けられ該観察ユニットの移動とともに前記被検査基板面を撮像する撮像手段と、前記観察ユニットの近傍に設けられ、前記撮像手段で撮像された前記被検査基板面の画像を表示する表示手段とを具備したことを特徴とする基板検査装置。

IPC (2件)：

G02F 1/13 101 ,  G01N 21/84

FI (2件)：

G02F 1/13 101 ,  G01N 21/84 C

Fターム (11件)：

2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC22 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051FA01 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA10 ,  2H088MA20