特許
J-GLOBAL ID：200903072981493733
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-066309
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261697
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 安定した吸着力が得られ、重金属汚染の恐れがなく、高温度域でも使用することができる静電チャックを提供する。【解決手段】 絶縁性板状体に電極を有する静電チャックにおいて、板状セラミックス焼結体の片面側を吸着面とし、他面側に電極を介装して絶縁材料の溶射による絶縁層を形成する。上記絶縁層には、絶縁耐圧を高める上で封孔処理を施すことが望ましく、また前記セラミックス焼結体と前記電極の間には、前記セラミックス焼結体や前記絶縁層と同一または異なる絶縁材料が溶射された中間層を形成することが密着性を高める上で好ましい。
請求項（抜粋）：
絶縁性板状体に電極を有する静電チャックであって、板状セラミックス焼結体の片面側を吸着面とし、他面側に電極を介装して絶縁材料の溶射による絶縁層が形成されてなることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
