特許

J-GLOBAL ID：200903072981499642

金属材料の集合組織の測定方法および装置

発明者： 前田 千寿子
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 白木 大太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117499
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300692
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】 金属材料の表面から垂直方向に亘って集合組織を迅速かつ精度よく測定する方法及び装置を提供する【解決手段】 金属材料の断面を表面に平行な層に区分し、その区分ごとに電子線照射を行って、層ごとの一連の結晶方位データを得、このデータを解析して表面からの層ごとのODF関数、ODF強度を算出する。

請求項（抜粋）：

金属材料の断面を、集合組織の測定深さに亘って素材表面と平行な複数の層に区分し、前記区分された各層を電子線を照射しながら走査し、反射電子線が回折することによって形成される回折パターンを走査線上に存在する結晶粒について逐次解析して一連の結晶方位データを各層毎に得、前記一連の結晶方位データを前記走査を行った層に対応させて蓄積して層別結晶方位ファイルを作成し、前記層別結晶方位ファイルに蓄積された一連の結晶方位解析データを前記層別又は複数の層に亘って解析してODF関数を特定し、前記ODF関数から特定方位のODF強度を前記層別又は複数の層に亘って算出することを特徴とする金属材料の集合組織の測定方法。