特許

J-GLOBAL ID：200903072985466013

平面研磨装置及び方法

発明者： 西原 浩巳 ,  新生 孝一
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-025688
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218524
出願日： 1999年02月03日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】 被加工物を全面に渡り高い精度で平坦に加工することができ、装置の大型化とランニングコストの増大を招くことがない平面研磨装置を提供する。【解決手段】 ウエーハ1はターンテーブル2上に保持される。ターンテーブル2の上方には研磨工具3が配置される。研磨工具3の直径はウエーハ1の直径と比べて小さい。研磨工具3は、研磨ヘッド4の主軸5に取り付けられ回転駆動される。研磨ヘッド4は、揺動ブラケット6の先端に取り付けられ、コラム11を旋回軸にして往復揺動を行う。ウエーハ1を回転させた状態で、研磨工具3を回転させてウエーハ1に対して押し付け、更に、研磨工具3を往復揺動させることによって、ウエーハ1の全面を研磨する。このとき、研磨ヘッド4の揺動角度を検出し、検出された値に応じて研磨ヘッド4の揺動角速度を制御することによって、ウエーハ1の周縁部での研磨速度を中央部での研磨速度に一致させる。

請求項（抜粋）：

上面に円板状の被加工物が保持されるターンテーブルと、ターンテーブルに対向してその上方に配置され、下面に被加工物よりも小さな直径の研磨工具が装着され、研磨工具を回転しながら被加工物に対して押し付けるとともに、ターンテーブル上で揺動運動をさせる研磨ヘッドと、を備えた平面研磨装置において、前記研磨ヘッドの揺動角度を検出する角度検出器と、検出された揺動角度に基づいて、予め設定されたパターンに従って、前記研磨工具の揺動角速度を制御する制御機構とを備えたことを特徴とする平面研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621

FI (2件)：

B24B 37/04 G ,  H01L 21/304 621 B

Fターム (10件)：

3C058AA07 ,  3C058AA11 ,  3C058AA12 ,  3C058AC02 ,  3C058BA04 ,  3C058BA07 ,  3C058BB03 ,  3C058CB01 ,  3C058CB05 ,  3C058DA17